Titanijumski dijelovi za poluvodiče

1. Ultra-kontrola otpuštanja sa ultra-niskim nivoom nečistoća

Mi usvajamo šemu obrade keramičkih alata + alata bez gvožđa-u toku procesa proizvodnje. Svi pomoćni materijali koji su u kontaktu sa obratkom prolaze tri kruga prečišćavanja kiselinom, strogo kontrolišući da ukupni sadržaj gvožđa, hroma itd. bude unutar 0,02%. Ovim se u potpunosti izbjegava uobičajeni problem kontaminacije metalnim jonima u poluvodičkim procesima i sprječava stvaranje prekomjernih metalnih ostataka na površini pločice. Smanjuje rizik od kratkog spoja sa strane materijala.

 

2. Dugoročna otpornost na koroziju

Nakon što je dio formiran, proći će kroz dvije različite koncentracije slabog oksidacijskog rastvora uranjanja radi pasivizacije. Na površini će se stvoriti uniforman zaštitni film od titanijum dioksida debljine 8-10 nm. Čak i kada se izloži razrijeđenoj fluorovodoničnoj kiselini i miješanim otopinama dušične kiseline u procesu čišćenja poluvodiča u trajanju od 2000 sati neprekidno, neće doći do odvajanja udubljenja i krhotina koje bi ogrebale površinu pločice.

 

3. Visoka{1}}precizna dimenziona stabilnost

Tokom obrade, cijeli proces koristi tečni azot u spreju za stalnu kontrolu temperature, kontrolirajući deformacije nastale tokom obrade unutar 0,003 mm. Prije izlaska iz tvornice, gotovi proizvodi se podvrgavaju 24-satnom ciklusu testiranja na visokim i niskim temperaturama. Čak i kada se radi u poluprovodničkom procesnom okruženju na 180 stepeni duže vreme, neće biti zaglavljivanja deformacija i lepljenja deformacija. Nema potrebe da često rastavljate i podešavate preciznost poravnanja.

 

4. Niska brzina izduvnih gasova pogodna za vakuumsko okruženje

Svi dijelovi se prvo podvrgavaju pečenju u vakuumu na 120 stepeni u trajanju od 48 sati radi tretmana degasiranja. Vodena para i sitne čestice adsorbirane na površini se potpuno uklanjaju. Nakon ugradnje u poluvodičku vakuumsku komoru, može pomoći opremi da dostigne ciljni stupanj vakuuma 25% brže od korištenja običnih dijelova od nehrđajućeg čelika, smanjujući gubitak vremena čekanja na vakuumsko pumpanje.

1. Posuda za vafle za PVD mašinu za taloženje parom

Koristi se za podupiranje silikonske pločice koja se oblaže. U okruženju visoke-temperature raspršivanja ciljnog materijala, titanijumski dio neće reagirati s plinom za raspršivanje i neće otpuštati višak nečistoća u komoru, što može poboljšati ujednačenost sloja metalnog filma nanesenog na površinu pločice za 5%, izbjegavajući problem curenja strugotine uzrokovanog nedovoljnom debljinom metalnog sloja. Pogodan je za zahtjeve proizvodnje premaza od 28nm i nižih procesa.

 

2. Nosač vafla za mašinu za mokro čišćenje

U RCA standardnom procesu čišćenja, stalak je u potpunosti uronjen u jake kiseline i jake alkalne otopine za čišćenje. Titanijumski materijal neće biti korodiran i proizvoditi krhotine, i neće se prianjati na površinu pločice da izazove kontaminaciju česticama. Može smanjiti stopu defektnih čestica kod jednoserijskog čišćenja vafla za 12%. U isto vrijeme, lagana karakteristika stalka također može smanjiti opterećenje prijenosa mašine za čišćenje i smanjiti potrošnju energije opreme.

 

3. Sjedište za fiksiranje elektrode za mašinu za ionsku implantaciju

Koristi se za fiksiranje-elektroda visokog napona u mašini. Nemagnetno svojstvo titanijuma neće ometati putanju jonskog snopa, omogućavajući kontrolu dubine odstupanja jonske implantacije unutar vrlo malog raspona, izbjegavajući problem neujednačene doze ubrizgavanja u lokalnoj oblasti pločice. Značajno poboljšava konzistentnost električnih performansi čipa.

 

4. Prirubnica konektora za poluprovodnički vakuumski cevovod

Povezivanje različitih sekcija vakuumskog cjevovoda mašine. Niska brzina ispuštanja titanijuma može održati visoko-okruženje čistog vakuuma unutar cjevovoda i neće uzrokovati fluktuacije u stepenu vakuuma zbog oslobađanja plina običnih prirubnica od nehrđajućeg čelika nakon-dugotrajne upotrebe. Smanjuje broj alarma za isključenje mašine izazvanih abnormalnostima vakuuma i povećava vreme neprekidnog rada proizvodne linije za 30%.

1. Prilagođavanje ne-standardnih dimenzija

Oslanjajući se na naš vlastiti 5-osni obradni centar, dužina, širina i visina dijelova mogu se podesiti prema instalacijskom prostoru postojeće poluvodičke opreme kupca. Nema potrebe da kupac mijenja interfejs opreme, a prvi uzorak može biti isporučen u roku od 7 dana.

 

2. Prilagođavanje stanja površine

Po želji se mogu odabrati dvije metode površinske obrade: zrcalno poliranje i mat pjeskarenje. Pogodni su za različite zahtjeve za čistoćom proizvodnog procesa i mogu izbjeći adheziju čestica koja utiče na okruženje proizvodnje poluvodiča.

 

3. Prilagođavanje specijalnih interfejsa

Posebne strukture kao što su posebni utori za kartice i rupe za pozicioniranje mogu se prilagoditi tako da u potpunosti odgovaraju zahtjevima za montažu opreme koju je sam-razvio kupac. Nisu potrebne dodatne komponente adaptera.

Stavka	Specifikacija
Naziv proizvoda	Titanijumski delovi za poluprovodnike
Materijal	Čisti titan (razred 2), legura titanijuma (razred 5 Ti-6Al-4V)
Proces proizvodnje	CNC obrada, struganje, glodanje, brušenje, zavarivanje
Dostupni oblici	Ploča, prsten, cijev, šipka, blok, prilagođeni dijelovi
Dimenzije	Prilagođeno prema crtežima ili uzorcima
Tolerancija	Do ±0,01 mm
Završna obrada	Polirano, pjeskareno, kiselo, anodizirano, precizno obrađeno
hrapavost površine	Ra 0,2–1,6 μm (dostupno po narudžbi)
Čistoća	Do 99,6% (Grade 2 Titanium)
Radna temperatura	Do 400 stepeni
Gustina	4,51 g/cm³
Tvrdoća	Razred 2: HB 145–200; Ocena 5: HRC 30–36
Otpornost na koroziju	Odlična otpornost na kiseline, lužine i procesne hemikalije
Hemijska kompatibilnost	Pogodno za poluprovodničke hemikalije i okruženja ultra{0}}visoke čistoće
Inspekcija	Inspekcija dimenzija, Certifikacija materijala, Pregled površine

 

 

 

Popularni tagovi: titanijumski delovi za poluprovodnike, Kina titanijumski delovi za proizvođače poluprovodnika, dobavljači, fabrika, Titanijski 5-osni cnc dijelovi, Titanijski anodizirani obrađeni dijelovi, dijelovi za hemijsku obradu titana, Dijelovi obrađeni titanom CNC mašinski, dijelovi od titana otporni na toplinu, Titanijumske visokoprecizne CNC komponente